电镀工作台适用于半导体晶片及工件的镀金、铜、镍、锡等金属的电镀。电镀槽配有阴极移动、循环过滤。设备配有清洗槽、水枪、氮气枪等。
电镀电源:(选配)
l 脉冲电源(德国产)
l 线性控制
l 输出有规则的正负脉冲,可复合波输出
l 可存储15种脉冲波
l 方波的上升沿和下降沿陡峭(矩形方波)
l 微处理器控制
l 图形显示校准后的方波
l 程序输出延时、安培小时和预设计数,定时功能
l 在正常直流输出时,方波非线性小于±0.5%
l 编程:最高能到16个独立分步;每步有两个独立正的峰值或负的峰值
l 时间范围:0~999.9msec(正反向脉冲电流)
l 时间分辨率:0.1msec
l 循环次数:1~99
l 脉冲峰值50A;直流:10A
l 脉冲电源SR485通讯接口与电镀台触摸屏接口相接,可在触摸屏设置脉冲电源设置电压、各段电流与实践周期
l 直流恒流线性电源(自制):电流1~10000mA连续可调,4位半LED数字显示。电流稳定度:3‰;电压:1-12V连续可调节,3位半LED数字显示。配安培小时计