等离子清洗机是一种表面处理设备， 用气体作为处理介质，它是利用能量转换技术以电能将气体转换为化学反应性和活性很高的气体等离子体，等离子体对固体样品表面进行相互作用，引起分子结构改变，从而对样品表面的有机污染物进行超清洗和使样品表面改性，以获得希望的表面特性。用气体作为处理介质有效地避免了对环境和样品带来的二次污染。等离子清洗机外接一台真空泵，工作时气体等离子体轻柔冲刷样品的表面，短时间就可以使有机污染物被彻底地清洗掉，同时污染物被真空泵抽走，其清洗能力达到分子级。等离子清洗机可对样品的表面改性，加强样品的粘附性、相容性和浸润性，也可对样品消毒和杀菌。
　　设备结构：
　　设备由真空腔体及高频等离子电源、抽真空系统、充气系统、自动控制系统等部分组成。工作基本原理是在真空状态下，等离子作用在控制和定性方法下能够电离气体，利用真空泵将工作室进行抽真空达到所需工艺的真空度，再在高频发生器的作用下，将气体进行电离，形成等离子体（物质第四态）。高频发生器提供能量使气体电离成等离子态。等离子态显著的特点是高均匀性辉光放电，根据不同气体发出从蓝色到深紫色的色彩可见光，材料处理温度接近室温。这些高度活跃微粒子和处理的表面发生作用，得到了表面亲水性、拒水性、低摩擦、高度清洁、激活、蚀刻等各种表面改性。
　　真空腔的设置具有很强的灵活性，腔内有可调节层极板插槽，根据需要每个插槽内的极板都可以设置为独立的阳极、阴极。也可以根据需要来调整极板间的距离，来达到不同的工艺效果。由于匀气腔、抽气口、以及阳极、阴极极结构独特的气流设计。
　　应用领域：
　　1、清洗光学器件、电子元件、激光器件、镀膜基片、芯片
　　2、改善粘接光学元件、光纤、生物医学材料、宇航材料等所用胶水的粘和力
　　3、去除金属材料表面的氧化物
　　4、使玻璃、塑料、陶瓷、高聚合物等材料表面活化，增强其表面粘附性、浸润性、相容性
　　5、高分子材料表面修饰
　　主要技术指标：
　　l　　　 电源：220V 50Hz 1.5KW
　　l　　　 整机尺寸：（长×宽×高） 620×550×1630mm
　　l　　　 反应室尺寸：（长×宽×高）450×450×300mm
　　l　　　 射频电源：13.56MHz；0～500W连续可调
　　l　　　 最大负荷电流：10ARMS
　　l　　　 最大负荷电压：200VRMS
　　l　　　 传输效率：>90％
　　l　　　 全自动匹配
　　l　　　 匹配时间：3～5s
　　l　　　 可匹配阻抗实部范围：1～500Ω
　　l　　　 可匹配阻抗虚部范围：－j200～＋j200
　　l　　　 主电容：空气电容
　　l　　　 起辉真空度：约-100KPa左右
　　l　　　 冷却方式：风冷
　　l　　　 真空腔：铝腔
　　l　　　 电极：阴极、阳极。两极之间最大距离50mm；可调节
　　l　　　 气体流量：国产质量流量计，量程为：0-2L/min和0-5L/min
　　l　　　 配4升机械泵
　　l　　　 整机采用松下plc、触摸屏控制